LCD Ekran Üreticileri için PR Temizleme Otomatik Üretim Hattının Temel Ekipmanı
PR (fotorezist) temizleme otomatik üretim hattı, LCD ekran üretiminde temel bir ıslak proses ekipmanıdır. Öncelikle dizi substratı üzerindeki fotolitografi işleminden sonra, kalan fotorezisti, aşındırma kalıntısını ve yüzey mikro-kirleticilerini tamamen gidermek için kullanılır. Panel devresi hassasiyetini sağlamak ve ürün verimini artırmak için çok önemli bir ekipmandır. Sınıf 100 temiz odanın sıkı üretim ortamına mükemmel şekilde uyum sağlayan bu ürün, yüksek-hassasiyet, otomatikleştirilmiş ve kirlilik-içermeyen kapalı-döngü temizleme işlemleri gerçekleştirir.
Fotolitografi işleminden sonra pozitif ve negatif fotorezist kalıntısını hedef alan bu cihaz, kalıntıları, organik kirleticileri, toz parçacıklarını ve fotolitografi aşındırma işleminden sonra kalan diğer yabancı maddeleri derinlemesine temizlemek için çok-aşamalı bir ultrasonik temizleme + saf su taşma durulama işleminden yararlanır. 0,5μm'nin altındaki mikroskobik kalıntıları tamamen temizleyerek panel açık devreleri, parlak noktalar ve yabancı maddelerin neden olduğu Mura noktaları gibi kusurları önleyebilir. 0,1μm yüksekliğinde-hassas bir filtreleme sistemiyle birleştiğinde ikincil kirlenmeyi önler. %100'lük bir kaldırma kapsama oranıyla, kalan yapışkan katmanların sonraki aşındırma ve kaplama işlemleri üzerindeki etkisini önleyerek, eksiksiz, hasarsız bir kaldırma işlemi gerçekleştirir-.
Yerleşik-ESD elektrostatik kontrol modülü, elektrostatik değeri ±100V'ye eşit veya daha az aralığında sıkı bir şekilde kontrol eder. Boşluk önleyici-statik malzeme ve temassız-manyetik tekerlek dağıtım teknolojisiyle birleştiğinde, elektrostatik boşalmanın panelin hassas devrelerine zarar vermesini engellerken aynı zamanda cam alt tabaka üzerinde sürtünmeden kaynaklanan çizikleri, ufalanmaları ve toz oluşumunu da önleyerek alt tabakanın bütünlüğünün korunmasını en üst düzeye çıkarır.
Yüksek ve düşük sıcaklık sabit sıcaklık test odası
LCD ekran üreticilerine yönelik otomatik temizleme ve kurutma üretim hattı ekipmanlarının temelinde ikili bir kurutma modu bulunur: hava bıçağıyla kesme ve sabit-sıcaklıkta sıcak havayla kurutma. Bu, alt tabaka yüzeyindeki su lekelerini hızlı bir şekilde gidererek filigransız ve izsiz-kuruma sağlar. Kuruduktan sonra alt tabaka yüzeyindeki nem içeriği sıfıra yaklaşarak ikincil işleme gerek kalmadan bir sonraki işleme doğrudan aktarıma olanak tanıyarak sürecin sürekliliğini sağlar. PLC kontrol sistemi, yükleme, konumlandırma, temizleme ve boşaltma işlemlerinin tamamen otomatik-kapalı döngü işlemine olanak sağlar. Temizleme solüsyonu konsantrasyon ayarı, sıcaklık, nem ve temizlik için gerçek-zamanlı izleme ve alarm işlevlerini destekler. Kapalı hazne ve gradyan negatif basınç tasarımı, kimyasal gaz sızıntısını önler. Sınıf 100 temiz odanın pozitif basınçlı ortamıyla birleştiğinde, ultra saf su geri dönüşümüne ve atık sıvı sınıflandırmasına ve geri kazanımına olanak tanıyarak hem enerji tasarrufu hem de çevre koruma gereksinimlerini karşılar.
Geleneksel manuel temizlikle karşılaştırıldığında, tam otomatik PR temizleme üretim hatları yeri doldurulamaz avantajlara sahiptir: temizleme verimliliği 3 kattan fazla artar ve vardiya başına yaklaşık 10.000 cam alt tabaka işlenebilir, bu da işlem döngüsünü önemli ölçüde kısaltır; temizleme tutarlılığı mükemmeldir, 0,5μm'den küçük mikro-kalıntıları tamamıyla ortadan kaldırır, panel kusur oranını 0,5PPM dahilinde kontrol eder, ekrandaki parlak noktalar, karanlık noktalar ve devre kesintileri gibi kusurları etkili bir şekilde önler; ekipman, yüksek saf su geri kazanım oranına ve atık su olarak sınıflandırılmış toplama ve işlemeye sahip, çevre koruma üretim gereksinimlerini karşılayan, su-tasarrufu ve enerji-tasarrufu sağlayan bir tasarımı benimser; makinenin tamamı korozyona-dayanıklı PVC ve SUS304 paslanmaz çelikten yapılmış olup, güçlü sızdırmazlık, kolay temizleme ve bakım özelliklerine sahiptir ve temiz odalarda 24-saat sürekli çalışmaya uygundur; bu, LCD ekran üreticilerinin üst düzey ürün grupları oluşturması ve temel rekabet gücünü artırması için standart ekipman haline gelir.
LCD Ekran Üreticilerinin Fotolitografi Atölyesindeki Temel Ekipmanlar
Pozlama ekipmanı, fotolitografi atölyesindeki temel ekipmandır ve LCD dizisi üretim sürecinde önemli bir işlem alanıdır. Panel litografi makinesi olarak da bilinen bu makine, yüksek-hassasiyetli bir optik ıslak işlem cihazıdır. Ana işlevi, paneldeki mikro-devrelerin oluşumu için çok önemli olan optik maruz kalma yoluyla alt tabaka devre tasarım desenini fotodirençle kaplanmış bir cam alt tabakaya aktarmaktır. Devre modelinin fotomasktan cam alt tabakaya hassas aktarımı, ekranın kalitesini doğrudan belirleyen daha sonraki gravür, kaplama ve PR temizleme işlemlerinin ön koşuludur. Ekipman, alt tabakanın çizilmesini, hasar görmesini ve kirlenmesini önleyen, büyük-boyutlu, ince LCD cam alt tabakalara uygun,-temassız bir maruz kalma işlemi kullanır.
Öne çıkan temel teknolojik özellikler arasında, mikron-seviyesi ve hatta mikron{2}}altı-seviyesi katmanlama doğruluğuna sahip, yüksek-hassasiyetli bir hizalama sistemi yer alır; bu sistem, çok-katmanlı devre istiflemesinde sıfır yanlış hizalamayı garanti eder ve hatalar saç çapının birkaç binde biri dahilinde kontrol edilir; pozlama enerjisi dalgalanmalarını elde etmek için tekdüze bir pozlama ışık kaynağı ve dinamik odaklama teknolojisinin kullanılması<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Atölyenin tamamı, morötesi, mavi ve beyaz ışık gibi kısa-dalga boyundaki ışığı tamamen filtreleyen 589nm monokromatik sarı ışık kaynağı kullanıyor ve bu ışınların, fotorezistte fotokimyasal reaksiyonları zamanından önce tetikleyerek desen yanlış hizalaması, eksik çizgiler, kısa devreler ve açık devreler gibi ölümcül kusurlara neden olmasını önlüyor. Aydınlatma sistemi, başıboş ışık sızıntısını önlemek için özel sarı LED'ler ve çift-katmanlı filtrelerin bir kombinasyonunu kullanır; kapılar, pencereler ve gözetleme pencereleri anti-ultraviyole filtre malzemeleriyle donatılmıştır; atölyede cep telefonları, kameralar, yüksek-güçlü el fenerleri ve diğer harici ışık kaynakları kesinlikle yasaktır ve fotorezistin kaynaktan zamanından önce açığa çıkması riskini ortadan kaldırmak için tam-alan ışık disiplini kontrolü uygulanır.
LCD Ekran Üreticileri için Sınıf 100 Temiz Odalarına Giriş
Yüksek-hassas LCD üretimi alanında, Sınıf 100 temiz odalar (ISO Sınıf 5 temiz odalar) temel üretim tesisidir ve bir üreticinin teknik gücünün ve ürün veriminin önemli bir göstergesidir. BOE, TCL CSOT, HKC ve Tianma gibi lider ekran şirketleri tarafından dizi, hücre montajı ve modül paketleme gibi temel süreç aşamalarında yaygın olarak kullanılıyorlar. Bu temiz odalar, havanın kübik ayağı başına çapı 0,5μm'ye eşit veya daha büyük (metreküp başına 3520'ye eşit veya daha az) 100'den fazla asılı toz parçacığı içermeyen sıkı temizlik standartlarına sahiptir. Bu temizlik seviyesi tıbbi ameliyathanelerinkini çok aşıyor ve toz, statik elektrik ve kimyasal kirleticilerin hassas işlemlere müdahale etmesini önlemek için "sert bir bariyer" görevi görüyor. Ekranın görüntü kalitesini, ömrünü ve verim oranını doğrudan belirleyen temel bir donanım bileşenidir.
Atölye kesinlikle ISO uluslararası ve yerel standartlarına uygun olarak tasarlanmış ve inşa edilmiştir. Dikey tek yönlü hava akışı modunu benimser ve dört-aşamalı ULPA filtreleme sistemiyle (ön-filtre, orta-verimli filtre, yüksek-verimli filtre ve ultra-yüksek-verimli filtre) %99,999'a varan bir filtreleme verimliliği elde ederek tozun anında giderilmesini sağlar ve hava akışı ölü bölgelerini ortadan kaldırır. Eş zamanlı olarak, tüm boyutlarda hassas çevresel kontrol elde edilir: 23±1 derecelik sabit bir sıcaklık, %45-%55'te kontrol edilen bağıl nem, temiz alanda korunan pozitif basınç durumu ve bitişik alanlar arasında 10 Pa'dan büyük veya buna eşit bir basınç farkı, harici tozun sızmasını tamamen önler; teşhir panellerinin elektrostatik hasara karşı duyarlılığı göz önüne alınarak, anti-statik epoksi kendinden-düzeylenen zemin kaplaması kullanılmış, duvarlar ve tavanlarda ise 304 paslanmaz çelik ve temiz oda renkli çelik plakalar kullanılmış olup, süreç boyunca statik elektrik değerleri sıkı bir şekilde kontrol edilmektedir; moleküler düzeydeki VOC kimyasal kirleticileri ve mikro titreşimler gibi gizli girişimler için ek kontrol sağlanarak fotolitografi, ince film biriktirme ve sıvı kristal enjeksiyonu gibi nano ölçekli işlemlerin gereksinimlerini karşılar.
Atölye, çapraz kontaminasyonu önleyen katmanlara sahip, Sınıf 100 çekirdek alanına, Sınıf 1000 tampon alanına ve Sınıf 10.000 yardımcı alana bölünmüş, kademeli bir temiz oda bölgeleme tasarımını benimser ve personel ve otomatik malzeme taşıma hatları tamamen ayrılmıştır. Personelin kıyafet değiştirme, hava duşu ve elektrostatik algılamadan oluşan üçlü bir süreçten geçmesi gerekir ve yalnızca tam-vücut temiz oda kıyafeti, tozsuz-eldivenler ve gözlük taktıktan sonra içeri girebilirler; malzemeler kilitli transfer pencerelerinden aktarılır ve toz ve statik elektrik giderme işleminden geçirilir; iç mekan, 24-saatlik gerçek zamanlı izleme ve veri izlenebilirliği sağlamak için FFU laminer akış başlıkları, çevrimiçi parçacık sayaçları, sıcaklık ve nem sensörleri, diferansiyel basınç monitörleri ve diğer ekipmanlarla donatılmıştır ve sürekli çevresel stabilite sağlamak için anormal göstergeler olması durumunda derhal uyarılar verecek ve ayarlamalar yapacaktır.
